在大陆法系的一些国家移植美国模式并不成功后，一些国家在扬弃以前的议会监督模式的经验，总结移植美国模式失败的教训的基础上，创立了专门机构型宪法监督模式。
奥地利在1920年建立宪法法院，在世界诸国中率先确立专门机构监督模式，其又被称作凯尔森模式、欧洲模式。该种模式建立之后，世界各国尤其是欧洲国家纷纷仿效，原来引进美国模式的一些国家也改换门庭实行这一模式。有学者统计由特设的专门机关行使违宪审查权和监督宪法实施的国家大约有40个。
专门机构监督模式具体可分为两种形式，即以德国为代表的宪法法院制和以法国为代表的宪法委员会制度。
（1）德国宪法法院的设立也经过了很长一段历程。在19世纪，德国主要实行的是受英国影响的议会监督模式。在1919至1933年的魏玛共和国时期，魏玛宪法规定了在国家层次设立诉讼法院，主理涉及联邦制国家的宪法冲突问题，但这并不是一个完全意义上的宪法法院，并且对纳粹党的上台起到了负面作用。在1949年德国宪法设立的联邦宪法法院是德国宪法史上的一个质的飞跃，是1849年以来德国宪法监督制度百年探索以后取得的积极成果。
德国宪法法院受理涉及宪法性问题的具体争议案件，有权根据宪法作出裁决，其任务是把宪法秩序作为法律秩序加以维护。各国宪法法院的法官不仅具备丰富的法律专业知识，而且大都担任过议会或政府要员，具有相当的从政经验和政治素养，因此宪法法院通常享有较高的政治地位。它虽然也是司法机关，但完全独立于立法、行政及普通司法机关之外，是与它们相平行的第四种权力。
德国的宪法法院模式优点十分明显，既能行使抽象审查权，又能受理宪法控诉，兼具了议会模式和普通法院模式的优点，而且宪法法院自身享有很高的地位，其成员兼具法律和政治素养，能够胜任宪法监督职责，不过，这一模式也存在一些缺陷：第一，缺乏有效性。宪法法院法官数额有限，往往满足不了大量宪法诉讼案件的审查要求；第二，缺乏准确性。宪法法院的政治性较强，法官裁决易受政党及国家政策的影响，而且宪法法院一审终审制，易导致草率断案；第三，缺乏合理性。由非民选机构来审查民意代表机关制定的法律是否违宪，不符合权力分工原则和人民主权原则。 还有的学者认为宪法法院与普通法院界限较模糊，宪法诉讼与其它法律诉讼的划分缺乏客观的衡量标准，这增加了宪法监督的复杂性，而且宪法法院为集中精力审查重大案件不得不把大量的申诉案件通过简易程序退掉，因此，其作用有限。
（2）法国宪法委员会制度的形成也是根据其特定的国情而具有其独特之处。法国设立专门的宪法监督机构始于第四共和国时期。1791年宪法即确立将宪法监督权交给国民议会。其后的雅各宾专政又凸显了人民主权的原则。在热月党人执政期间，宪法将监督权赋予元老院。其后宪法监督权不断变迁，直到1946年第四共和国设立宪法委员会。第五共和国稍作修改沿用至今。
法国实际实行的是宪法委员会与行政法院并行宪法监督职能。行为违宪和大量一般规范性文件及行政法规和行政规章的合宪性问题主要由普通法院或行政法院进行审查裁决。 宪法委员会对法律是否违宪实行最高监督，同时它还有两个重要特权，即预先审议应予批准的在法兰西共和国范围内签定的条约和协议；对全民投票和共和国总统选举实行监督。法国宪法委员会由九名成员组成，总统、国民议员及参议员各任命三名，前总统为当然的终身议员，因而它具有浓厚的政治色彩，一般被视为专门的政治机关，但我国也有学者认为宪法委员会既不是纯粹的政治机关，也不是纯粹的司法机关，而是兼具政治性和司法性的机关；还有学者认为它是一种准司法性质的机关。
法国宪法委员会监督模式的优点在于政治地位高，权力较大能有效制止违宪法律的颁布和实施，能及时解决国家的重大政治问题。但是其缺点也很明显：其一，宪法委员会的审查对象主要是议会制定的各种法律和规则，而政府制定的大量条例、命令却不在审查之列；其二，提出审查请求的主体范围过窄。
建立专门机构来监督宪法实施成为世界宪法监督制度的发展潮流，这一模式之所以盛行，主要是由于以往在本国现实生活中普遍存在着践踏宪法、侵犯人权的现象，为了使宪法处处得到尊重与实施，有必要建立一个独立于立法、司法、行政之外的机构，专司宪法监督之责，同时，也与议会模式、普通法院模式过去在欧陆国家中失败的教训有着密切的联系，采用这一模式的主要是西欧、东欧及韩国、土耳其等少数亚洲国家。
专门机构宪法监督模式比较适合大陆法系国家的政治体制和法律文化传统。为了使其更加科学化，可以采取以下措施：首先，在单一制国家，如韩国，可以考虑在省级地方设立宪法法院的下属机构，以减轻宪法法院的压力；在联邦制国家，如德国，可以考虑改变联邦宪法法院与州宪法法院互不统属的关系，以增强宪法监督的准确性。此外，联邦法院可以适当下放一些权力，并适度放宽简易程序的审查标准；其次，宪法委员会可适当采取附带违宪审查与宪法诉愿的审查方式。
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